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ポーラスカーボンパッド

フラットパネル

浮上製品

エアベアリングバー

フラットパネル用極薄ガラスをはじめとする、壊れやすい板状部材を、浮上させて非接触搬送します。独自の予圧機構で、極薄ガラスもたわみません。

精密浮上製品

ノンコンタクト チャッキング

フラットパネル用極薄ガラスをはじめとする、たわみやすい板状部材を、精密平面に矯正して浮上させ、非接触搬送します。浮上精度は5μmです。

吸着製品

カーボン製 大型吸着盤

ガラス基板を、多孔質体で全面吸着固定します。ガラス基板に応力を与えず、吸着痕も付きません。静電気対策、ハレーション対策に効果があります。

実験装置

フラットパネル 浮上搬送実験装置

浮上特性と吸着精度は、ガラス厚み、ガラスの物性、エアベアリングバーの配置、給気・吸引圧力の組み合わせによって変化します。レーザー変位センサーでガラスの輪郭を測定することで、ガラスのたわみと諸条件との関係を明確にします。

半導体

非接触吸着製品

ノンコンタクト チャッキング

極薄ウェーハ、薄板ガラス基板を、“低”ストレスで非接触固定。これまでにない、新しい吸着技術です。
工程間のワーク移送のための搬送技術は、自動化に不可欠な技術です。

吸着製品

カーボン製 精密吸着盤

カーボン製だから、高機能。
スパークによる破損をなくし、半導体後工程のチップ歩留まり向上に貢献。
Φ450mm対応。

検査装置

軸受・検査装置

エアベアリング

カーボン製多孔質体(ポーラスカーボン)を使用したエアベアリングです。気体膜力によって負荷を支持するので、非接触で作動します。摩擦摩耗が無く、クリーンです。高速に、精密に案内します。

素材販売

素材販売

ポーラスカーボンマテリアル

低透過、高透過の2種類のポーラスカーボン素材を提供しています。
元材寸法内で、任意の寸法で製作いたします。

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