製品概要
カーボン製多孔質体を使用した静圧気体軸受です。
気体膜力で負荷を支持し、非接触で作動するため、高速かつ精密な案内が可能です。摩擦や摩耗がなく、発塵もほとんどないため、非常にクリーンです。
気体膜力で負荷を支持し、非接触で作動するため、高速かつ精密な案内が可能です。摩擦や摩耗がなく、発塵もほとんどないため、非常にクリーンです。
製品の特徴
- カーボン製多孔質体を使用して非接触で作動
- 摩擦摩耗や発塵がほとんどないためクリーン度が高い
- 多孔質体絞りによる高い剛性
導入例
さまざまな装置で当社の製品が使用されています。
- 半導体ウェーハ製造装置
- 半導体ウェーハ検査装置
- FPD製造装置
- FPD検査装置
製品仕様・性能
寸法
丸型：φ40mm～φ250mm
角形：□40mm×□40mm～□300mm×□250mm
角形：□40mm×□40mm～□300mm×□250mm
性能グラフ
軸受直径φ80mm
負荷容量
剛性
流量
サポート
製品導入まで万全にサポートいたします。
納品までの流れ
