製品概要
多孔質カーボンの吸着体と高強度カーボン製の構造体を組み合わせた、カーボン材料のみで構成された真空吸着盤です。
平均気孔径が5μmと非常に細かいため、吸着痕の転写が起こりません。軽量で、厳しい温度環境下でも変形や破損がなく、電気的特性にも優れています。カーボンの特徴を最大限に活用した多孔質吸着盤です。
平均気孔径が5μmと非常に細かいため、吸着痕の転写が起こりません。軽量で、厳しい温度環境下でも変形や破損がなく、電気的特性にも優れています。カーボンの特徴を最大限に活用した多孔質吸着盤です。
製品の特徴
ウェーハ帯電防止
材質 | 多孔質カーボン | アルミナ | アルミニウム |
電気抵抗値(μΩ・m） | 100 | > 1X1012 | 2.6 X 10-2 |
高温環境に対応
軽量化で機器への負担減少
Φ450mmオールカーボン吸着盤
重量2100g
重量2100g
導入例
以下の工程で導入を検討される企業様が増えています。
①半導体製造（後工程） 装置別
- ウェーハ表面保護テープ貼り用吸着テーブル
- ウェーハ表面保護テープ剥し用吸着テーブル
- ウェーハ検査装置用吸着テーブル
- UV 照射装置の吸着テーブル
- ウェーハマウンタ装置のマテハン用真空チャッキング
- ウェーハ洗浄装置のスピナーヘッド
など
②半導体製造（後工程） 工程別
- TSV プロセス
- ダイシング工程
- バックグラインド工程
製品仕様
多孔質カーボン×高強度カーボン | 多孔質カーボン×その他材質 | |
使用圧力 | -0.1MPa～0.1MPa | -0.1MPa～0.1MPa |
使用温度 | ～250℃ | 23℃±2℃ |
製作可能寸法(吸着面) | ～φ450mm ～□350mm | ～φ450mm ～□350mm |
製作可能寸法(厚み) | 12mm～ | 15mm～ (金属材質の場合) |
平面度 | 10μm～ | 5μm～ |
サポート
製品導入まで万全にサポートいたします。
納品までの流れ
設計シートの作成
お問い合わせの際、下記の項目をお手元に用意いただくと、回答がスムーズです。
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(122KB) |
動画リンク（オールカーボン吸着盤）
重量測定（0:27）
部分吸着（0:40）
