タンケンのサービス

ノンコンタクトチャッキングは浮上と吸引を同時に行います。負圧で予圧をかけてガラス基板とノンコンタクトチャッキングの隙間を一定に保ちつつ、搬送面に倣わせて精密平面を形成します。それにより乗り継ぎギャップでガラス基板の端部が接触しないため、安定して搬送することができます。

お客様の声

実際に使用するガラス基板をデモ実験装置で搬送し、その性能を評価することができたため、納得して購入することができました。