製品概要
負圧と正圧を組み合わせた非接触吸着盤です。
0.1mmの薄いガラスでも、ワークを精密に非接触で吸着することが可能です。負圧で予圧をかけることで、高さ方向の変位や振動を抑え、一定の隙間を保ちながら搬送面に倣わせて精密平面を形成します。たわみのあるガラスでも、矯正して平面を確保します。
0.1mmの薄いガラスでも、ワークを精密に非接触で吸着することが可能です。負圧で予圧をかけることで、高さ方向の変位や振動を抑え、一定の隙間を保ちながら搬送面に倣わせて精密平面を形成します。たわみのあるガラスでも、矯正して平面を確保します。
製品の特徴
非接触搬送
たわみの矯正
安定した浮上形状
導入例
FPD製造装置において採用されています。
露光装置、検査装置を始めとした各種製造装置への採用実績があります。
露光装置、検査装置を始めとした各種製造装置への採用実績があります。
製品仕様
製品寸法
寸法 長さ×幅×厚み (mm) | 250×76×50 |
案内面寸法 (mm) | 250×76 |
給気圧力 (MPa) | ～0.5 |
吸引圧力 (kPa) | ～FV |
その他仕様
さらにガラスの平面を確保したい場合は、吸引機能を追加した仕様もご用意しております。
詳細については、お問い合わせください。
詳細については、お問い合わせください。
サポート
製品導入まで万全にサポートいたします。
納品までの流れ
浮上状態の条件設定
- ワークの浮上状態を計測する実験装置を常設しています。
- 浮上特性は給気圧力と吸引圧力の組み合わせにより変化します。
- お客様のワークに最適な条件設定をサポートします。
レンタル品の貸し出し
- 性能確認のため、製品の貸出を行っております。
- お客様のプラントの装置での評価や、ワークの持ち出しが難しい場合など、貸出により性能確認が可能です。
