製品概要
多孔質カーボンパッドを貼り合わせて大型化した真空吸着盤です。
多孔質体により偏りのない均一な全面吸着を実現し、ガラス基板に吸着痕を残すことなく真空吸着固定が可能です。また、構造部材にアルミハニカムを採用することで、大型化しても重量増加を抑え、強度と剛性を確保しています。
多孔質体により偏りのない均一な全面吸着を実現し、ガラス基板に吸着痕を残すことなく真空吸着固定が可能です。また、構造部材にアルミハニカムを採用することで、大型化しても重量増加を抑え、強度と剛性を確保しています。
製品の特徴
- 最大2200mm×2400mm（G8サイズ相当）まで大型化が可能です。
- 全面吸着のため、ガラス基板にダメージを与えることなく確実な吸着が可能です。
- 高い平面度で仕上げられており、ガラス基板が精密に吸着されます。
導入例
さまざまな装置で当社の製品が使用されています。
- ガラス基板用レーザースクライビング装置
- ガラス基板、液晶フィルム用露光装置
- フィルム用カラー光学検査装置
- フィルム用厚さ測定装置
製品仕様
製品寸法
最大2200mm×2400mm
追加仕様
- 吸着面を区切ることで、吸着面積をガラス基板の寸法に合わせて切り替えることができます。
- 鏡面化によりITO膜へのスクラッチを防止し、粗面化によりハレーションを防止します。
- リフトピンのピン孔への対応やセンサー用切り欠きなど、特殊形状への対応が可能です。
サポート
製品導入まで万全にサポートいたします。
納品までの流れ
